進(jìn)口晶圓清洗機(jī)采用Nano-Master進(jìn)口兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無(wú)損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。
進(jìn)口晶圓清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn)：
▲可更換清洗吸盤(pán)，可使用4-12英寸的清洗吸盤(pán)；
▲操作程序可按作業(yè)需求編寫(xiě)調(diào)整，設(shè)備運(yùn)行流程、清洗時(shí)間及各項(xiàng)參數(shù)可自行編制；
▲設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控，自動(dòng)門(mén)配有安全光柵，保證操作安全；
▲采用真空吸附式清洗盤(pán)，晶元夾具的取放更安全、方便；
▲擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無(wú)清洗盲區(qū)、無(wú)二次污染，清洗效果更佳；
▲設(shè)備清洗室全密封，且配有自動(dòng)擋水圈，有效防止二次污染；
▲高速離心設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)100-2000R/Min；
▲配備*的靜電消除裝置，輔助清洗達(dá)到最佳效果，可選擇使用氮?dú)猓?/span>
▲設(shè)備配有大面積透明觀察窗；
▲縮減寬度的省空間設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小；
▲整機(jī)鏡面不銹鋼機(jī)身，能耐酸堿，對(duì)工作環(huán)境無(wú)污染，鏡面機(jī)殼易于保養(yǎng)。
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更新時(shí)間：2021-06-11 
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