深圳先進(jìn)院磁控濺射順利安裝實(shí)施

八月初，深圳先進(jìn)院磁控濺射NSC-3500安裝條件已具備，NANO-MASTER的工程師們?yōu)樯钲谙冗M(jìn)院安裝調(diào)試實(shí)施。

本套NSC-3500是帶機(jī)械手臂的全自動(dòng)控制型號，標(biāo)準(zhǔn)配置帶有水冷或者加熱(zui高可加熱到700度)功能，zui大到6"旋轉(zhuǎn)平臺，zui大可支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-3500 帶有14"立方形不銹鋼腔體，3個(gè)2"的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，350 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。