NANO-MASTER（那諾-馬斯特）Platens樣品臺，又稱為基板或加熱板，是真空鍍膜設(shè)備中常用到關(guān)鍵部件。因此樣品臺可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PECVD、ALD等刻蝕和沉積設(shè)備中，給晶圓等樣片進(jìn)行均勻加熱和冷卻處理，為微納米薄膜工藝提供精確的溫度環(huán)境。

NANO-MASTER Platens樣平臺

NANO-MASTER(那諾-馬斯特）Platens樣品臺，使用技術(shù)，加熱均勻性*。NANO-MASTER的樣平臺（或稱為基板、熱板）可以加入射頻偏壓、水冷卻、通過模塊控制700°C范圍的溫度?；宓母叨瓤烧{(diào)節(jié)，基片可旋轉(zhuǎn)，真空腔體內(nèi)沒有任何引線。任何地方不會出現(xiàn)短路或電弧，因?yàn)樗幸€、電熱偶和冷卻水管道都保持在大氣壓下。NM樣品臺可以直接安裝到你的系統(tǒng)中，無論是RIE刻蝕、ICP刻蝕、ALE刻蝕，還是PECVD、ALD等沉積設(shè)備中，我們的基板都可以很方便的配套使用。

Platens樣品臺可應(yīng)用的設(shè)備：

• RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
• ICP感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)
• ALE原子層刻蝕設(shè)備
• PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
• ALD原子層沉積設(shè)備
• 其他設(shè)備

?尺寸：

• 1-12英寸
• 可定制

Platens不同型號對應(yīng)溫度上限：

• NM-LTP，低溫?zé)岚?，z高可加熱到300°C
• NM-MTP，中溫?zé)岚?，z高可加熱到500°C
• NM-HTP，高溫?zé)岚?，z高可加熱到700°C

?Different models allow for different temperature limits:

• NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
• NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
• NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C